出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 化学气相掺杂 |
| 释义 | 化学气相掺杂 化学气相掺杂 在化学气相沉积薄膜的同时通过气相将杂质掺入薄膜的工艺。不需增添设备，只需将待掺入的杂质原子的气体混合入化学气相沉积的主气流中即可。掺杂源可以是气体，也可以是液体或固体。掺入量通常很低，但杂质可在整个膜内均匀分布。硅在化学气相沉积时常用乙硼烷（B 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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