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激光气相沉积
释义
激光气相沉积
材料科学卷
激光气相沉积
激光照射靶材或反应气体,并使之汽化为原子态,随后利用气相中发生的物理、化学过程,在基材表面沉积成膜的方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/6/22 22:21:51