“激光气相沉积”的意思、由来-百科全书

词条	激光气相沉积
释义	激光气相沉积材料科学卷激光气相沉积　　激光照射靶材或反应气体，并使之汽化为原子态，随后利用气相中发生的物理、化学过程，在基材表面沉积成膜的方法。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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