“高纯钨”的意思、由来-百科全书

词条	高纯钨
释义	高纯钨材料科学卷高纯钨　　纯度在99.999%以上的纯钨。用于超大规模集成电路生产中磁控溅射镀膜的靶材或化学气相沉积镀膜用的材料。采用高纯钨镀成的膜具有熔点高、导电性好，与硅片相容性好等特点，适合制作高密度的芯片。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料
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