词条	薄层电阻
释义	薄层电阻 信息科学卷 薄层电阻　　半导体膜或薄金属膜单位面积上的电阻。可用四探针法测量。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 材料科学卷 薄层电阻 　　在半导体工业，指芯片表面一块正方形薄层对边平面方向的电阻。若正方形薄层的边长为l，厚度为xj，截面积为A，平均电阻率为 　　，薄层电阻Rs为： 只与薄层的平均电阻率及薄层厚度有关，与方块的边长无关。用四点针方法测量。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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