金属表面处理的一种工艺。通过气相反应使金属表面形成极高硬度碳化物（如碳化钛）、氮化物（如氮化钛）或硼化物的沉积层。在沉积碳化钛时，常用纯氢或纯氩作为载体，送入一定配比的四氯化钛及甲苯等混合气体进行反应。实用的沉积层厚度为0.5～1微米。碳化钛层具有极高的硬度（维氏硬度3 000～5 000），能使硬质合金刀具和Cr12型高合金钢模具的寿命提高一倍至几十倍。