温度高于相同压力下饱和温度的水蒸气。在被冷却或膨胀作功时，不致立即引起凝结而形成水。蒸汽动力装置使用过热蒸汽可以获得较高的热效率。近代的汽轮机大都使用过热蒸汽。与同压力下饱和蒸汽的温度差值称为“过热度”。