“扫描电子显微镜”的简称。观察分析物体表面细微形貌及特性的装置。利用聚焦的电子束在样品表面扫描，使之激发二次电子、背散射电子、特征X射线等多种信号，经相应的探测器检测并处理后在阴极射线管的荧光屏上显示出放大的表面形貌图像，如表层显微组织（样品先经表面侵蚀处理）、断口形貌、表面缺陷、集成电路结构等。放大倍率几十倍到万倍，分辨本领达3纳米，且景深大，图像呈立体感。通常附有能谱分析仪，可测定样品表层的微区化学成分。