对室内洁净度要求特别高的车间。室外空气需经初过滤器、中效过滤器和高效过滤器以后进入车间。超净车间按每升空气中可含的尘粒数为控制指标。以洁净度最高的超净车间为例，每升空气中含有≥0.5微米的灰尘不能超过3.5粒。进入超净车间的人员和物料均需通过一定净化程序。适用于生产高精密产品。