指需要在电子显微镜下才能观察研究的特别微小的化石。其大小范围一般认为应限于10微米以下，也有人主张可包括25微米左右的微小化石。超微化石包括的生物种类繁多，主要是超微浮游生物。对研究前寒武纪地层及不含大化石的地层很有价值，并可用于古环境的推断。