出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 原子层剥离技术 |
| 释义 | 原子层剥离技术 原子层剥离技术 通过气体分子与衬底材料表面原子发生反应去除衬底表面原子层的技术。主要过程包括等离子浸没式离子注入、键合和独特地利用氮气流使键合片分裂等步骤。具有很好的表面粗糙度，不需额外的化学机械抛光过程即可用于器件流片。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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