出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 原子层沉积 |
| 释义 | 原子层沉积 原子层沉积 一种将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面的方法。通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器，在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜。在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应直接与之前一层相关联，这种方式使每次反应只沉积一层原子。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 原子层沉积 将金属有机前驱体（包含相变材料组分的前驱体）与反应性气体以脉冲的形式交替送入反应室中，通过表面反应的互补性和自限制性得到相应薄膜的工艺技术。填充能力强，深宽比可达几十以上。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料 |
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