出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 表面钝化 |
| 释义 | 表面钝化 表面钝化 在半导体芯片表面覆盖一层保护膜的工艺。使与周围环境隔离，以避免受沾污和损坏，从而提高半导体器件和集成电路的成品率和可靠性。常在较低温度下淀积二氧化硅、磷硅玻璃、氮化硅等。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 表面钝化 使固体材料表面对环境的化学影响不敏感的处理过程。通常是在表面形成一层保护性薄膜。金属的表面钝化有助于抗腐蚀;半导体器件表面的钝化是保证其可靠性的重要措施。 出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 |
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