出处：数理化力学卷 • 化 学 • 分析化学
| 词条 | 扫描电子显微镜 |
| 释义 | 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 简称“SEM”。一种表面分析中超高分辨的综合性分析仪器。利用电子束在样品表面上逐点扫描,使电子束与样品相互作用,从样品上激发出与其性质有关的各种信息(如二次电子、背射电子、X射线等),通过分别收集并经电子线路放大处理后输入阴极射线管的栅极,控制其电子束强弱以显示样品的图像,据此可进行各种图像观察、元素分析及晶体结构分析。广泛应用于材料科学(特别是材料表面和纳米材料)的研究以及生物、医学等方面。 出处：数理化力学卷 • 化 学 • 分析化学 扫描电子显微镜 应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动（声子）、电子振荡（等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对X射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。 出处：生命科学卷 • 总论 • 生物学一般 • 其他 |
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