出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 西门子法多晶硅 |
| 释义 | 西门子法多晶硅 西门子法多晶硅 西门子公司发明制备工艺生产的多晶硅材料。为最早实现工业化生产的多晶硅产品。主要工艺流程为：硅粉（硅含量逾98%）与干燥的氯化氢气体在流态化床中合成（温度350℃）三氯甲硅烷，再通过精馏塔进行提纯。将高纯三氯甲硅烷与高纯氢混合通入装有硅芯发热体的还原炉，使硅在加热到1100～1200℃的发热体表面上进行沉积而获得多晶硅棒。工艺简单，反应可在常压下进行，产品具有很高的纯度。世界上现有70%以上的多晶硅均采用西门子法生产。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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