出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 硅锗碳合金 |
| 释义 | 硅锗碳合金 硅锗碳合金 在硅锗合金中加入碳元素后而形成的一种三元合金。碳的加入改善硅锗/硅异质结的界面性能，因为锗与硅的晶格失配率为4.2%，以致硅基上的硅锗外延层有很大的应变能，甚至会在界面出现失配位错；而碳原子比硅和锗小得多（锗的晶胞参数比硅大4.2%，比碳大52%），故加入碳后，可补偿晶格失配，得到较厚的硅锗碳赝晶薄膜。亦可调节能带结构，造成异质结导带有较大的突变，以增强对电子的量子限制作用，提高载流子的辐射复合概率。但碳与硅、锗的原子半径相差较大，会导致很大的局部应变，影响到外延层的完整性，造成外延生长困难。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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