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词条 磷硅玻璃
释义
磷硅玻璃
磷硅玻璃  含有较高磷浓度的硅氧化层。在高温下流动性较好,广泛用作半导体芯片表面的层间绝缘膜。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体材料
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更新时间:2025/2/8 6:21:42