出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
词条 | 阻挡层 |
释义 | 阻挡层 阻挡层 存在于多孔的阳极氧化膜与基体金属材料之间的致密氧化物薄层。在半导体元器件中,阻挡层亦称“势垒区”,即在半导体pn结或某些金属同半导体接触的界面附近所形成的一层特殊区域。具有单向导电性,起整流或检波的作用。 出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 阻挡层 ⑴ 在多孔的阳极氧化膜与基体金属之间的致密氧化物薄层。在集成电路中,铜因有良好的导电性替代了铝,常用作线路材料,但铜容易扩散到硅或者二氧化硅中,严重影响器件性能,因此必须先覆盖一层材料来阻止铜扩散,该层材料称“扩散阻挡层”。 ⑵见“势垒区”(236页)。 出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 阻挡层 见“势垒区”。 出处:数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 |
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