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词条 晶圆
释义
晶圆
晶圆  亦称“硅晶片”。硅半导体集成电路制作所用的圆形晶片。其原始材料是硅。因其形状为圆形,故名。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构,从而生产出具有特定功能的半导体元件产品。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/2/8 1:09:00