出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 离子团束离子镀 |
| 释义 | 离子团束离子镀 离子团束离子镀 将膜料置于准密闭的特殊坩埚内，加热汽化后从坩埚喷口射出，由于绝热膨胀，急剧冷却成过饱和态并形成原子（分子）团束，此时，从坩埚喷嘴上方的热阴极发射的电子在电场作用下轰击原子团束，使其部分离化形成集团离子并向基板作加速运动，当其到达基板时，原子（分子）团即“粉碎”成为原子（分子）状态，并沉积成膜的工艺。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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