出处：数理化力学卷 • 化 学 • 分析化学
| 词条 | 离子探针 |
| 释义 | 离子探针 离子探针 一种将质谱测定技术和离子发射显微镜技术相结合的成分分析仪器。其原理是利用聚焦的高能一次离子束轰击试样表面,溅射出表征试样成分的二次离子,通过扇形磁场,完成质荷分离,根据二次离子的质荷比和强度来进行定性和定量分析。能对固体物质做微区、微量及深度成分分析,检测灵敏度可达十亿分之几。广泛应用于半导体、冶金、地质和生物研究等领域。 出处：数理化力学卷 • 化 学 • 分析化学 |
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