“离子束溅射”的意思、由来-百科全书

词条	离子束溅射
释义	离子束溅射材料科学卷离子束溅射　　采用一个从与成膜室隔开的离子源中引出的高能离子束，轰击处于成膜室的靶材而进行溅射镀膜的方法。由于离子束溅射能独立控制轰击离子的能量和束流密度，并且基片不接触等离子体，有利于控制膜层质量，但镀膜速率低。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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