出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料
| 词条 | 倾斜蒸镀法 |
| 释义 | 倾斜蒸镀法 倾斜蒸镀法 将金属、氧化物、氟化物等无机材料在与基板的法线方向成某个角度的方向上进行蒸镀的工艺。用于形成倾斜排列的取向膜。是一般氧化硅薄膜的典型形成法。斜向排列的氧化硅薄膜间形成许多排列规整的“沟槽”结构，液晶分子沿着这些“沟槽”而发生倾斜取向。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料 |
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