出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 离子铣 |
| 释义 | 离子铣 离子铣 利用离子束轰击固体表面的溅射作用，剥离加工器件上的几何图形的一种工艺。 在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，倾斜轰击工件，使工件表面原子逐个剥离。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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