出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 离轴照明 |
| 释义 | 离轴照明 离轴照明 一种光刻分辨率增强技术。在采用离轴照明的曝光系统中，掩模上的照明光线都与投影物镜主光轴有一定的夹角，入射光经掩模发生衍射，光源的0级衍射光和±1级衍射光都可参与成像，从而提高光刻分辨率。环形照明、四极照明和二极照明都属于离轴照明方式。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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