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词条 外延片
释义
外延片
外延片  在基质上生长的半导体单晶薄层的晶片。用气相外延、液相外延、分子束外延等方法生长。人们常说的硅片就是在衬底硅上的外延晶片。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/2/8 4:00:03