“中频交流磁控溅射”的意思、由来-百科全书

词条	中频交流磁控溅射
释义	中频交流磁控溅射材料科学卷中频交流磁控溅射　　采用中频（40千赫）电源的磁控溅射镀膜方法。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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