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套准容差
释义
套准容差
信息科学卷
套准容差
光刻工艺中所形成的图形层和前层的最大相对位移。一般约是关键尺寸的三分之一。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/3/13 17:14:19