“套刻”的意思、由来-百科全书

词条	套刻
释义	套刻信息科学卷套刻　　光刻工艺中利用标记对准曝光，进行器件结构制备的方式。用来保证掩模版上的图形与硅片上已经存在的图形之间的对准。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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