出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 等离子体源离子注入 |
| 释义 | 等离子体源离子注入 等离子体源离子注入 亦称“等离子体浸没式离子注入”。一种以等离子体作为离子源的离子注入方法。通过射频放电、热阴极放电或金属阴极真空弧放电产生所需的各种气体或固态离子的大面积均匀等离子体，使处于等离子体鞘包围中的材料或零部件实现全方位离子注入。与传统束线注入不同，样品被“浸泡”在等离子体中，由于没有过滤器，其注入剂量是常规离子注入机束流的十倍到一百倍。对离子注入没有方向性限制，适用于对复杂形状表面，甚至是深度较大的沟槽，深孔内表面的离子注入。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
| 随便看 |
百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。