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词条 金属抛光
释义
金属抛光
金属抛光  半导体工艺中采用氧化的方法,使金属氧化物在机械研磨中被去除,从而得到平滑金属表面的技术。一般有机械抛光、化学抛光、电解抛光、超声波抛光、流体抛光、磁研磨抛光等方法。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/2/8 6:51:39