“金属抛光”的意思、由来-百科全书

词条	金属抛光
释义	金属抛光信息科学卷金属抛光　　半导体工艺中采用氧化的方法，使金属氧化物在机械研磨中被去除，从而得到平滑金属表面的技术。一般有机械抛光、化学抛光、电解抛光、超声波抛光、流体抛光、磁研磨抛光等方法。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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