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金属栅
释义
金属栅
信息科学卷
金属栅
选择具有合适功函数的金属材料所制作的栅极。与高介电常数介质层相配合,有助于改进阈值电压钉扎现象,并可避免多晶硅栅因载流子浓度极限而引起的耗尽层的问题,进而有助于提高器件性能。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/6/27 18:32:33