请输入您要查询的百科知识:

 

词条 纳米压印
释义
纳米压印
纳米压印  将模具上的纳米尺度图形以机械力直接转移到衬底上,从而达到量产化目的的光刻技术。由华裔科学家周郁于1995年提出。相较于传统的光刻技术,具有加工原理简单、分辨率高、生产效率高、成本低等优点。应用于半导体工艺、光学等领域。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
随便看

 

百科全书收录258893条中英文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。

 

Copyright © 2004-2023 Newdu.com All Rights Reserved
更新时间:2025/3/16 9:18:31