“纳米微机电系统”的意思、由来-百科全书

词条	纳米微机电系统
释义	纳米微机电系统信息科学卷纳米微机电系统　　在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。是20世纪90年代末提出的一个概念。特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征。出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术
随便看	廉俸廉公廉利廉劲廉吏廉士廉希宪廉廉廉悍廉想涉廉政廉明廉正廉江廉泉廉泉让水廉洁廉深廉直廉石居藏书记廉租住房廉租房廉纤廉约廉耻

百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。