“线宽”的意思、由来-百科全书

词条	线宽
释义	线宽信息科学卷线宽　　集成电路生产工艺可达到的最小导线宽度。在金属-氧化物-半导体工艺中，指最小沟道长度。是集成电路工艺先进水平的主要指标。线宽越小，集成度越高，在同一面积上就集成更多电路单元。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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