出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学
| 词条 | 隔离技术 |
| 释义 | 隔离技术 隔离技术 制造半导体集成电路中的一项重要工艺技术。在半导体集成电路中,各个元件是制作在一块晶片上的,要使它们起着预定的作用而互不影响,就必须使它们在电性能上相互绝缘。这种电绝缘的形成方法就称为隔离技术或隔离工艺。常用的隔离工艺有pn结隔离、介质隔离等。 出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 |
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