出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 绝缘体上锗硅材料 |
| 释义 | 绝缘体上锗硅材料 绝缘体上锗硅材料 英语缩写SGOI。由绝缘衬底和锗硅层组成的硅基半导体材料。结合了绝缘体上硅和锗硅两种先进技术的优势。制备技术有注氧隔离、智能剥离等。是应变硅技术的理想衬底材料。广泛用于硅基微电子、光电子等领域。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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