出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 自加热效应 |
| 释义 | 自加热效应 自加热效应 器件工作时沟道电流产生的热量造成器件内部温度升高，导致器件特性退变的现象。常规的绝缘体上硅结构以二氧化硅为绝缘埋层，由于二氧化硅埋层的热导率远远低于硅的热导率，而构成一个天然“热障”，导致器件散热非常缓慢。热量很快在有源区积累，造成器件的温度升高。随着器件尺寸的缩小，以及跨导和电流密度的增加，该影响会更甚。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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