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词条 液封覆盖直拉法
释义
液封覆盖直拉法
液封覆盖直拉法  简称“LEC法”。熔体表面有一层覆盖剂,晶体是从被覆盖剂包裹的熔体中拉制出来的直拉生长工艺。主要用于制备具有挥发性组分的化合物半导体单晶。其中,覆盖剂用于抑制化合物中具有挥发性的组分逸出,并使生长的晶体表面不被解离。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/5/9 18:40:07