请输入您要查询的百科知识:

 

词条 深紫外光刻
释义
深紫外光刻
深紫外光刻  采用反射光照射的非成像方式,用椭圆反射镜把波长在180~260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上,使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。可用作亚微米级精细图形的加工方法。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
随便看

 

百科全书收录258893条中英文百科知识,基本涵盖了大多数领域的百科知识,是一部内容开放、自由的电子版百科全书。

 

Copyright © 2004-2023 Newdu.com All Rights Reserved
更新时间:2025/6/19 11:28:56