“深紫外光刻”的意思、由来-百科全书

词条	深紫外光刻
释义	深紫外光刻信息科学卷深紫外光刻　　采用反射光照射的非成像方式，用椭圆反射镜把波长在180～260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上，使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。可用作亚微米级精细图形的加工方法。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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