“深紫外光刻”的意思、由来-百科全书

词条	深紫外光刻
释义	深紫外光刻信息科学卷深紫外光刻　　采用反射光照射的非成像方式，用椭圆反射镜把波长在180～260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上，使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。可用作亚微米级精细图形的加工方法。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
随便看	丁恭丁惟汾丁惫丁托列托丁振麟丁敬丁文江丁日昌丁时魁丁是丁,卯是卯丁普郎丁朝丁未七款条约丁未安庆之役丁未惠州七女湖之役丁未镇南关之役丁未防城之役丁未黄冈之役丁村人丁果仙丁桂散丁汝夔丁汝昌丁灵丁烯二酸

百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。