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刻蚀剖面
释义
刻蚀剖面
信息科学卷
刻蚀剖面
被刻蚀图形的侧壁形状。有各向同性和各向异性两种。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/27 15:25:34