“溅射产额”的意思、由来-百科全书

词条	溅射产额
释义	溅射产额信息科学卷溅射产额　　在溅射过程中，入射一个高能荷电粒子所溅射出的靶材原子个数。可用来衡量溅射速度。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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