出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 微波等离子体化学气相沉积 |
| 释义 | 微波等离子体化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 用微波等离子体激活化学反应进行气相沉积的方法。常用设备是在一般低压化学气相沉积反应管上交叉安置一共振腔和与之匹配的微波发射器。微波频率通常为2.4吉赫，发射功率通常在几百瓦至上千瓦。微波等离子体增强了气体反应活性，加速气相分解反应和表面原子的迁移，使沉积过程可在较低生长温度下进行。减少因高温生长造成的组分和杂质的互扩散等，对于低熔点和高温不稳定的化合物的薄膜生长更为合适。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 微波等离子体化学气相沉积 用微波等离子体激活化学反应进行气相沉积的方法。常用设备是在一般低压化学气相沉积反应管上交叉安置一共振腔和与之匹配的微波发射器。微波频率通常为2.4吉赫，发射功率通常在几百瓦至上千瓦。微波等离子体增强了气体反应活性，加速气相分解反应和表面原子的迁移，使沉积过程可在较低生长温度下进行。减少因高温生长造成的组分和杂质的互扩散等，对于低熔点和高温不稳定的化合物的薄膜生长更为合适。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料 |
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