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高介电常数氧化层
释义
高介电常数氧化层
信息科学卷
高介电常数氧化层
具有高介电常数的介质形成的氧化层。在微型化的集成电路中,可以有效地作为栅氧化层。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/6/6 10:18:59