出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 快速热处理 |
| 释义 | 快速热处理 快速热处理 一种升温速度非常快、保温时间很短的热处理方式。是半导体制造中的一道工艺。升温速率能达到10～100℃/秒。一般采用红外卤素灯或者电阻棒加热，加热时电流很大，功率很大。可用于离子注入后的杂质快速激活、快速热氧化等。能大量节省热处理时间，降低生产成本。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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