出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 涂层
| 词条 | 半导体薄膜 |
| 释义 | 半导体薄膜 半导体薄膜 一类采用薄膜制备技术在基体表面沉积的具有半导体特性的膜层。种类繁多，按材料化学组成，分元素半导体薄膜（如硅、锗等）和化合物半导体薄膜（如硫化镉、砷化镓等）；按结晶结构，分单晶半导体薄膜、多晶半导体薄膜和非晶半导体薄膜。制备方法很多，如化学气相沉积、气束外延和液相外延等。可应用于制备半导体器件、太阳能电池和激光器等。 出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 涂层 |
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