化学式H₂SiF₆。无水氟硅酸为无色气体。有毒，强烈腐蚀皮肤。不稳定，常温下易分解为四氟化硅和氟化氢。水溶液为强酸。浓溶液冷却时，析出无色含水氟硅酸。由四氟化硅（SiF₄）和氟化氢（HF）反应而得。用作消毒剂，也用于金属电镀、木材防腐等。