一种仪器分析方法。试样在X射线（原级X射线）激发下，产生组成元素的特征X射线（次级X射线），通过分析晶体的衍射，各种波长的X射线彼此分开，利用探测器依次测量出各种元素所产生X射线的波长和强度，进行定性和定量分析。此法可分析原子序数3～92号之间的元素。