利用特殊的制备技术（如溅射沉积、化学气相沉积、分子或离子束外延、电子枪蒸镀等）在衬底（金属、半导体等）表面形成厚度为纳米至微米级的一层材料。按不同的用途有磁性膜、光学膜、半导体膜、电阻膜、超导膜等，另外薄膜涂层还可达到耐磨、耐蚀、硬化、保护、固体润滑、装饰等目的。