化学式UF₆。淡黄色固体。在室温下蒸气压较高，正常的升华点为56.4℃。由二氧化铀(UO₂)与氟化氢在500℃时反应得四氟化铀(UF₄)，后者与氟在350℃时反应即得六氟化铀。利用²³⁸UF₆和²³⁵UF₆蒸气扩散速率的差别可使²³⁸U和²³⁵U分离，以富集核燃料²³⁵U。