由串列式加速器配备离子源、分析器和特殊的探测系统所组成的超灵敏质谱仪。灵敏度比普通质谱仪高1 000倍以上。主要用于测量考古样品、古生物和其他地质样品中¹⁴C和²⁶Al超痕量核素的含量，以判断其形成年代。